主流气体质量流量计及质量流量控制器涉及的三大原理

气体质量流量计由于可以配备多种通讯模式（模拟量、Modbus、DevicNet、EtherCAT等工业总线协议），以及可对比的标准数据及较高的准确度、精度以及重复性，简单的安装方式，以及良好的可操控性等诸多优势，被广泛的应用于各种科研实验、工业设备、以及高精密仪器中。

目前在国内，气体测量及控制领域内主流的质量流量计主要应用的原理有三种：1、热式原理，2、差压式原理，3、科里奥利原理；

1、热式原理又主要分为毛细管热式，插入式热式，以及微电子（MEMS流量芯片）热式三种，虽然这三种热式的结构不同，但是原理都是用传感器感知气体带走热量多少换算出气体的质量流量。

在这三种热式质量流量计中，以毛细管热式技术最为成熟，适用范围最为广泛，很多国际品牌均以此原理为主，例如bronkhorst布朗克斯特，horiba等，还有国产品牌的就是七星华创，也是毛细管热式原理。

2、压差式，原理是利用泊肃叶定律来进行补偿计算，通过测量气体经过某段管道内前后的压力差，计算得出气体的体积流量，然后再换算到标准工况下流量。主要是以Alicat艾里卡特等品牌为代表，国产得苏州昀控也是层流差压式原理。

3、科里奥利原理质量流量计，其原理是当流体流经传感器回路时，由于科里奥利力引起可变相移，这种位移与流体的质量成正比；实际上，科里奥利质量流量计给出的流量数据是纯粹的质量流量，有较高的精确度，在实际应用中更多被用于各种液体流量的测量与控制，或者不知道具体组分的混合气体，以及超高压高粘度气体，或气液混合的流体。例如，进口品牌E+H，科隆，艾默生，这些品牌主要是对流量的测量，如果是需一体式可以同时控制流量的流量控制器，偏小流量的就是bronkhorst的产品，对于大管径、大流量的控制，加独立控制阀的也较多。

实际上任何产品原理只是使其具备某些优异性能的一部分因素，而一台气体质量流量计所具备的性能优劣以及所能适应的场景，还需要从硬件技术、软件技术、制造经验等多方面考虑；如过只是应用了很好的原理，但是其它技术配合不够理想，那么产品性能可能还不如用传统原理做出的产品。

苏州昀控电子科技有限公司致力于开发精准、稳定、快速、可重复性高的流体测量和控制产品，为客户提供可持续性发展价值。主要产品有高精度电容薄膜真空计、高精度气体质量流量控制器和高精度压力控制器等，部分产品可适配或对标国外同类产品的应用场景。产品广泛应用于航天航空、半导体、泛半导体、光伏、医药、化学工业、石油冶炼、电子器件等相关领域以及各大科研院校。凭借稳定的性能和良好的客户服务，产品赢得了市场的广泛认可。