技术文章－苏州昀控电子科技有限公司

电容薄膜绝对压力变送器得工作原理
2026-06-02 电容薄膜式绝对压力变送器是一种高精度、高稳定性的压力测量仪表，它结合了电容传感原理和薄膜隔离技术，用于测量相对于绝对真空的压力。以下是它的关键特点和工作原理的中文解释：核心组成部分和工作原理参考真空腔（绝对零压基准）：该变送器内部有一个密封的真空腔室。这个真空腔提供了绝对的零压力参考点。这是“绝对压力”测量的核心。通常使用特殊工艺（如高温排气）制造，确保腔室内的真空度且长期稳定。隔离薄膜（敏感膜片）：一片非常薄（几微米到几十微米）、灵敏度高的金属（如不锈钢、哈氏合金、钽等）或...
真空计得分类
2026-06-02 真空计的分类：亦称电容薄膜式压力计(CDG)），适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空压力范围。根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容薄膜真空计。它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。苏州昀控电子科技有限公司致力于开发精准、稳定、快速、可重复...
薄膜真空计的原理
2026-06-01 在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形,使得金属膜片和电极之间的电容变化,通过测量电容的变化量,即可知道金属膜片上气压的变化：这个描述符合薄膜真空计的工作原理。薄膜真空计利用一个金属膜片（通常是不锈钢或钛合金制成）作为敏感元件。当气体压力变化时，金属膜片会发生形变，从而改变膜片与固定电极之间的距离，进而影响电容。通过测量电容的变化，可以推算出气压的变化。苏州昀控电子科技有限公司致力于开发精准、稳定、快速、可重复性高的流体测量和控制产品，为客户提供可持续性发展价值。主要...
气体质量流量计得分类
2026-05-31 气体质量流量计主要可按测量原理进行分类，其中热式、科里奥利式和层流式是常见的几种类型。这些流量计能够直接测量气体的质量流量，其测量结果通常不受气体温度和压力的变化影响。按测量原理，气体质量流量计主要有以下几种分类：热式质量流量计（ThermalMassFlowMeter）基于热扩散原理，通过测量气体带走的热量来计算质量流量。它可以直接测量质量流量，无需进行温压补偿，且无活动部件，压力损失小，特别适用于测量低流速或微小的气体流量。主要分类：根据结构和测量方式，可分为热分布式和浸...
电容薄膜真空计得原理
2026-05-27 电容薄膜式真空计是用于量测真空度的常用仪器，其量程范围可达25000Torr~10-5Torr左右，其量程范围大，测量精度高；可直接测量压力，与气体的组分没有关系，灵活性高，因此在半导体设备中应用非常广泛，主要应用于刻蚀、PVD、CVD、炉管（Furnace）等真空设备中，一般在腔体与控压装置之间的管道上方(CKDforline)垂直安装。电容薄膜式真空计由薄膜（上表面镀有金属）、电极、吸气泵、传感器等构成吸气泵主要用于将参考腔体中的气体抽走，制造高真空的环境；薄膜（一般为陶...
振太电容薄膜真空计：真空测量中的精密标尺
2026-05-27 在工业生产和科学实验中，真空环境的质量往往决定了工艺的成败。从半导体芯片的制造到食品的真空包装，从科研实验室的粒子加速器到航天器的热真空测试，较为准确测量真空度是保障这些过程可靠运行的基础。振太电容薄膜真空计，作为一种利用电容变化原理测量气体压力的仪器，在这一领域中扮演着重要角色。振太电容薄膜真空计的核心结构包含一个金属薄膜，这个薄膜被固定在一个绝缘基座上，与一个固定电极形成电容。当真空腔体内的压力发生变化时，薄膜会因两侧压力差而产生微小的形变。这种形变改变了薄膜与固定电极之...
精准控真空，赋能半导体镀膜 —— 振太真空计工艺应用解析
2026-05-24 半导体PVD、CVD、PECVD等镀膜工艺是芯片制程关键环节，薄膜品质直接影响芯片良品率。真空环境是镀膜成败的核心要素，真空度偏差极易引发膜层不均、杂质超标、附着力不足等问题。振太真空计凭借测量精度高、运行稳定、耐介质腐蚀、不受气体介质干扰等特性，广泛应用于各类半导体镀膜设备，助力国产真空测量器件实现行业替代，保障镀膜工艺稳定生产。二、产品核心原理与适配机型1.工作原理采用电容薄膜传感结构，依靠气压变化促使感应膜片产生形变，将压力信号转换为电容电信号，搭配恒温校准补偿模块，输...
电容薄膜真空计的工作原理及结构
2026-05-21 电容式薄膜真空计结构及工作原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变面引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容薄膜规管和测量线路两部分组成。根据测量电容的方法不同，测量线路可分为有偏位法和零位法两种，其中，零位法具有较高的测量精度。零位法电容式薄膜真空计的结构如图8-14所示。它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放大器、相敏检波器和指示仪表等组成。电容式薄膜规管中间装着一张金属弹性膜片，其一侧有一固定电极，当膜片两侧的压差为琴时，固定...

共 20 条记录，当前 1 / 3 页首页上一页下一页末页跳转到第页