产品简介

气体质量流量计GF03 是一款层流差压质量流量计，适用环境监测，半导体工艺
口环境监测设备
微反应装置及材料制备实验装置(CVD)
D气体发生器
0配气混气系统
口生物发酵

GF03C质量流量计/控制器

应用领域Fields of Application

气相和液相色谱仪04半导体工艺环境监测设备口微反应装置及材料制备实验装置(CVD)口气体发生器口配气混气系统口生物发酵

昀控¥86

GF03-500-N-24-1SN:GF230801

DB9接口定义

FLOW

特点Peculiarity

可用量程01最大0-200slpm最小0-10sccm

满量程精度04±1%

低功率功率<3W

宽量程比02

100:1

高重复性05

±0.2%FS

08自带温度补偿

补偿范围0-50°C

快速响应03

<100ms

读取精度06

±1.5%

09无需预热

工作原理10层流压差式原理

27

功能介绍

Function Introduction

功能说明

流量控制可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制

累计流量

可通过Modbus-RTU协议读取累计流量

多种量程选择最小量程10 SCCM，最大量程200 SLPM

内置40种基本气体 内置40种基本气体，气体种类可定制

10种自定义混合气 可根据使用需求，自定义混合气

模拟控制

0-5V或者4-20mA模拟控制信号输入输出。

数字控制

使用RS-485通信控制。

标准Modbus-RTU RS-485通信采用标准 Modbus-RTU通信协议

参数自整定

设定值记忆功能

阀控功能

多台设备串联

自定义波特率

压力控制

累计流量控制

可辨识负载变化，自动调整至最佳PID控制参数

开启该功能后，MFC可记录断电前最后一次设定值，再次通电直接执行该设定值

可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能

通过更改通信地址，可实现多台设备串联控制

可通过 Modbus-RTU设置自定义波特率

可自由切换流量、压力控制。

可实现设定气体流速下的累计流量定量控制。

通信协议兼容原型号(GT130D/GT180)设定流量和读取流量。

选型参考Selection Reference

使用方式控制方式正压使用空=RS485/0~5V=铝底座铜阀N=负压使用A=RS485/4~20mA2=不锈钢底坐铜阀3一不锈钢底座不锈钢阀=不锈钢材质全氟橡胶=不锈钢钝化全氣橡胶

量程范围

基本型号

材质

010=10SCCM020=20 SCCM050=50 SCCM100=100.SCCM200-200 c00M500=500 SCCM11=1 SI PM2L=2 SLPM5L=5.SLPM10L=10 SLPM20L=20 SLPM30L=30SLPM50L=50 SLPM100L=100 SLPM200L=200 SLPM

GFO3流量计GFO3C流量控制器F03C=RS485/0~5VSF03CV=RS485/4~20mA

以上为常规型号产品，可根据使用情况进行定制