薄膜真空计的原理

在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形, 使得金属膜片和电极之间的电

容变化, 通过测量电容的变化量, 即可知道金属膜片上气压的变化：

• 这个描述符合薄膜真空计的工作原理。薄膜真空计利用一个金属膜片（通常是不锈钢或钛合金制成）作为敏感元件。当气体压力变化时，金属膜片会发生形变，从而改变膜片与固定电极之间的距离，进而影响电容。通过测量电容的变化，可以推算出气压的变化。

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