真空计得分类

真空计的分类：亦称电容薄膜式压力计 (CDG)），适用于在光伏、半导体及工业市场中测量对过程控 制至关重要的低真空压力范围。根据弹性薄膜在压差作用下产生形变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容薄膜真空计。它由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器两部分组成。根据测量电容的不同方法，仪器结构有偏位法和零位法两种。零位法是一种补偿法，具有较高的测量精度。目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。

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