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微流量气体流量计

产品简介

微流量气体流量计 GF03C 是GF03系列流量控制器可根据客户需求定制,更加适用于客户使用环境。

产品型号:GF03C
更新时间:2026-05-24
厂商性质:代理商
访问量:297
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苏州昀控电子科技有限公司致力于开发精准、稳定、快速、可重复性高的流体测量和控制产品,为客户提供可持续性发展价值。主要产品有高精度电容薄膜真空计、高精度气体质量流量控制器和高精度压力控制器等,部分产品可适配或对标国外同类产品的应用场景。产品广泛应用于航天航空、半导体、泛半导体、光伏、医药、化学工业、石油冶炼、电子器件等相关领域以及各大科研院校。凭借稳定的性能和良好的客户服务,产品赢得了市场的广泛认可。

高精度、高分辨率控制
⚫DC 24V±10% / DC12V±10%
⚫低功率,功率<3W
⚫集成40种基础气体种类
⚫可自定义10种混合气体
⚫控制参数自整定功能
⚫数字化控制,RS-485 ModbusRTU通信模式
⚫宽流量量程范围
⚫无需预热
⚫无安装方向限制
⚫具有高重复性和高可靠性
⚫采用电磁比例阀,使用寿命长,响应速度快
⚫自带温度补偿,补偿范围0-50℃
⚫内部闭环控制,具有高稳定性
⚫小封装尺寸
⚫可用量程:
◼最大0~200SLPM
◼最小0~10SCCM
◼常备量程请参考选型表
⚫量程比:100:1
⚫满量程精度:±1%
⚫读取精度:±1.5%
⚫可重复性:±0.2%F.S.
⚫响应时间:<100ms(调节PID控制参数可缩
短响应时间)


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