产品简介

高精度气体质量流量计苏州昀控电子科技有限公司致力于开发精准、稳定、快速、可重复性高的流体测量和控制产品，为客户提供可持续性发展价值。

苏州昀控电子科技有限公司致力于开发精准、稳定、快速、可重复性高的流体测量和控制产品，为客户提供可持续性发展价值。主要产品有高精度电容薄膜真空计、高精度气体质量流量控制器和高精度压力控制器等，部分产品可适配或对标国外同类产品的应用场景。产品广泛应用于航天航空、半导体、泛半导体、光伏、医药、化学工业、石油冶炼、电子器件等相关领域以及各大科研院校。凭借稳定的性能和良好的客户服务，产品赢得了市场的广泛认可。

半导体工艺

环境监测设备

微反应装置及材料制备实验装置 (CVD ) 

气体发生器

配气混气系统

功能介绍

Function Introduction

功能                           说明

累计流量                  可通过 Mod bus-R TU 协议读取累计流量

独立使用                   无需连接任何设备,  可通过按键和显示完成大部分功能操作             多种量程选择            最小量程 10sc cm,  最大量程 500sl pm

内置40种基本气体  内置40种基本气体,  气体种类可定制                                          10种自定义混合气   可根据使用需求,  自定义混合气

多电气接口              标准配置 1个DC插座, 2个RJ45接口,  1个DB9接口            模拟控制                    0-5V 模拟控制信号输入输出

数字控制                  按键控制或使用 RS-485通信控制                                                标准 Mod bus-RT U  RS-485通信采用标准 Mod bus-R TU 通信协议

参数自整定               控制参数可通过协议或按键实现自动调整到最佳PID控制参数        设定值记忆功能         开启该功能后,  MFC可记录断电前最后一次设定值,  再次通电直接执行该设定值阀控功能                  可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能                                  多台设备串联           通过更改通信地址,  最大可实现255台设备串联控制

自定义波特率            可通过Mod bus-R TU 设置自定义波特率                                       

选型参考

selection Reference