产品简介

微小质量流量控制器厂家它在常规质量流量控制器的基础上，进一步缩小了测控量程，可精准控制低至0.1sccm甚至毫克/小时级的微小气体，同时保留了闭环自动稳流的特性，不受系统压力、环境温度波动的影响，是半导体制造、精密分析仪器等领域的核心元件。

流量控制

可实现高精度、高重复性、多种气体质量流量控制

累计流量

可通过Modbus-RTU协议读取累计流量

多种量程选择

最小量程10 SCCM,最大量程20 SLPM

内置40种基本气体

内置40种基本气体，气体种类可定制

10种自定义混合气

可根据使用需求，自定义混合气

数字控制

使用RS-485通信控制

模拟控制

使用0~5V/4~20mA信号控制

标准Modbus-RTU RS-485通信采用标准Modbus-RTU通信协议

参数自整定

可辨识负载变化，自动调整至最佳PID控制参数

设定值记忆功能

开启该功能后，MFC可记录断电前最后一次设定值，再次通电直接执行该设定值

阀控功能

可实现阀全开、阀全关、阀自动闭环控制功能

多台设备串联

通过更改  通信 地 址 ，可实现多台设备串联控制

自定义波特率

可通过Modbus-RTU设置自定义波特率

基本型号

量程范围

使用方式

材质

G100C=数字

G100CV=模拟0~5V

G100CA=模拟4~20mA

050=50sccm 100=100sccm

500=500sccm

1L=1000sccm 5L=5000sccm 10L=10slpm

20L=20slpm

P=正压使用

N=负压使用

1=铝基座

2=不锈钢基座