产品简介

G100气体质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。该系列采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式，可扩展多台设备同时使用。

G100C系列气体质量流量控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式，可扩展多台设备同时使用。

小封装尺寸

集成40种基础气体种类

无安装方向限制

RS-485 Modbus RTU通信模式

采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

G100C气体质量流量控制器特点：

高精度、高分辨率控制

DC 9-36V宽电压供电

低功率，功率<2W

集成40种基础气体种类

可自定义10种混合气体

控制参数自整定功能

数字化控制，RS-485 Modbus RTU通信模式

宽流量量程范围：

无需预热

无安装方向限制

具有高重复性和高可靠性

采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

自带温度补偿，补偿范围0-50℃

内部闭环控制，具有高稳定性

小封装尺寸

量程及精度简介：

可用量程：

0-20slpm

最小0-10sccm

常备量程请参考选型表：

量程比：100:1

满量程精度：±0.5%

读取精度：±1%

可重复性：±0.5%FS

响应时间：<100ms(调节PID控制参数可缩短响应时间)

数字式设计简介：

G100C系列质量流量 控制器标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G100C系列采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式。RS-485总线可扩展至255台设备同时使用。

气体质量流量控制器应用领域：

气相和液相色谱仪

半导体工艺

环境监测设备

微反应装置及材料制备实验装置(CVD)

气体发生器

配气混气系统