产品简介

Epc微压力控制器/电子压力控制器采用的控制算法与高灵敏度传感器，实现快速、稳定的压力设定与控制。具备优异的重复精度与长期稳定性，适用于对压力控制有苛刻要求的工艺场景，如半导体薄膜沉积、气体混合配比、阀门校准等。

27×22×25mm（长宽高）超小封装尺寸

高精度、高分辨率控制，控制精度±0.2%

控制量程范围-15～150 PSIG

RS-485 Modbus RTU通信模式

Epc微压力控制器/电子压力控制器采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

y应用领域  气相和液相色谱仪

半导体工艺

环境监测设备 (如VOC S 等 )

微反应装置及材料制备实验装置 (CVD)'D)

反应器压力控制

气体发生器

气体流量控制

Epc微压力控制器/电子压力控制器核心优势：
采用的控制算法与高灵敏度传感器，实现快速、稳定的压力设定与控制。具备优异的重复精度与长期稳定性，适用于对压力控制有苛刻要求的工艺场景，如半导体薄膜沉积、气体混合配比、阀门校准等。

价值体现：提升工艺一致性，保障产品良率，实现生产过程的精细化管控。

高性能MFC质量流量计/控制器

核心优势：提供从标准型到高精度型的全系列产品，测量与控制范围宽广，响应迅速。具备出色的线性度与低零点漂移特性，支持多种通讯协议，能与各类工业系统无缝集成。

价值体现：实现对工艺气体流量的精确计量与动态控制，是优化反应过程、提高资源利用率、确保安全与环保排放的关键部件。

电容薄膜式真空计

核心优势：采用稳定性的电容薄膜传感器，实现从大气压到真空度的宽量程精确测量。几乎不受气体种类影响，读数精准，尤其适用于需要监测高纯、腐蚀性或多组分气体的真空环境。

价值体现：为真空工艺腔室、镀膜设备、分析仪器等提供可靠的过程“眼睛”，是保障真空工艺质量与可重复性的基石。