高精度/微小气体质量流量计应用领域:
Fields ofApplication
半导体工艺
环境监测设备
微反应装置及材料制备实验装置 (CVD )
气体发生器
高精度/微小气体质量流量计配气混气系统:
集成40种基础气体种类
无安装方向限制
RS-485 Modbus RTU通信模式
采用电磁比例阀,使用寿命长,响应速度快
具有高重复性和高可靠性
高精度气体质量流量计用于直接测量气体质量流量,其核心优势在于测量值不受气体温度、压力波动的影响。根据工作原理,主要分为以下三类:
一、热式质量流量计
热式质量流量计是目前应用广泛的类型之一,基于热扩散原理。其传感器通常包含两个铂电阻温度传感器(RTD):一个用于测量气体温度(参考端),另一个被加热至高于环境温度的恒定值(加热端)。当气体流过时,会带走加热端的热量使其温度下降。通过测量维持恒定温差所需的加热功率变化(恒温差法),或测量恒定加热功率下两传感器间的温差变化(恒功率法),即可推算出气体质量流量。其优势在于结构紧凑、响应快,能直接输出与质量流量对应的信号。
二、层流压差式质量流量计
此类流量计基于泊肃叶定律(Hagen-Poiseuille equation)。其内部设有精密的层流元件(LFE),能将气体流动强制转化为稳定的层流状态。在层流条件下,元件两端的压差与体积流量呈严格的线性关系。仪表通过高精度传感器测量压差,并结合实时测量的气体绝对压力和温度,计算出标准状态下的质量流量。这种方法线性度好、重复性高。
三、科里奥利质量流量计
科里奥利质量流量计是目前精度最高的直接式质量流量计之一。其核心是一根或多根被驱动器以固有频率振动的测量管。当气体流过振动的测量管时,气流会产生科里奥利力,使测量管发生微小的扭曲变形。管两端扭曲产生的相位差与流经管子的气体质量流量成正比。传感器检测该相位差即可直接得出质量流量。该原理基于力学效应,从根本上不受气体密度、温度、压力及成分变化的影响。
四、总结
热式流量计结构紧凑、性价比高,适用于常规气体测量;层流压差式线性度好,在中高精度场景中应用广泛;科里奥利流量计精度最高、不受流体物性影响,但成本也相对较高。实际选型需根据气体种类、精度要求、成本预算及工况条件综合确定。