产品简介

高精度/微小气体质量流量计系列标配高精度传感器和数字电路，数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。采用标准的RS-485 Modbus RTU通信模式，可扩展多台设备同时使用。

高精度/微小气体质量流量计应用领域：

Fields ofApplication

半导体工艺

环境监测设备

微反应装置及材料制备实验装置 (CVD )

气体发生器

高精度/微小气体质量流量计配气混气系统：

• 集成40种基础气体种类

• 无安装方向限制

• RS-485 Modbus RTU通信模式

• 采用电磁比例阀，使用寿命长，响应速度快

• 具有高重复性和高可靠性

  

苏州昀控电子科技有限公司公司介绍：

专注压力与流量测控，为精密制造注入核心动能

苏州昀控电子科技有限公司，坐落于中国现代制造业的高地——苏州，是一家专注于压力、真空及流量测控核心部件与解决方案的企业。我们深耕工业自动化与精密仪器领域，以“昀智精准，控在毫厘"为理念，致力于为半导体、光伏、精密化工、实验室分析、新能源及优良制造等行业，提供稳定、可靠、高性能的压力与流量测控产品。

我们的核心产品体系：

高精度EPC电子压力控制器

核心优势：采用优良的控制算法与高灵敏度传感器，实现快速、稳定的压力设定与控制。具备优异的重复精度与长期稳定性，适用于对压力控制有苛刻要求的工艺场景，如半导体薄膜沉积、气体混合配比、阀门校准等。

价值体现：提升工艺一致性，保障产品良率，实现生产过程的精细化管控。

高性能MFC质量流量计/控制器

核心优势：提供从标准型到高精度型的全系列产品，测量与控制范围宽广，响应迅速。具备出色的线性度与低零点漂移特性，支持多种通讯协议，能与各类工业系统无缝集成。

价值体现：实现对工艺气体流量的精确计量与动态控制，是优化反应过程、提高资源利用率、确保安全与环保排放的关键部件。

电容薄膜式真空计

核心优势：采用稳定性的电容薄膜传感器，实现从大气压到真空度的宽量程精确测量。几乎不受气体种类影响，读数精准，尤其适用于需要监测高纯、腐蚀性或多组分气体的真空环境。

价值体现：为真空工艺腔室、镀膜设备、分析仪器等提供可靠的过程“眼睛"，是保障真空工艺质量与可重复性的基石。

为什么选择昀控电子？

专业聚焦：我们只专注于压力、真空、流量测控这一细分领域，并做到深度与。

技术为本：持续在传感器技术、控制算法、材料工艺上进行研发投入，确保产品性能。

质量可靠：遵循严苛的质量管理体系，从原料到成品全程管控，确保每一台出厂设备都经得起长期稳定运行的考验。

应用导向：我们深入理解下业的工艺需求，能够为客户提供贴合应用的选型建议、定制化开发与及时的技术支持服务。

本地化服务：依托苏州的区位优势，我们能够快速响应华东及全国客户的需求，提供敏捷的售前、售中与售后支持。

我们的使命与愿景：

昀控电子以成为的压力与流量测控解决方案供应商为愿景。我们不仅提供高品质的硬件产品，更致力于与客户和合作伙伴携手，共同解决优良制造中的测控难题，为提升中国装备的自主化水平与核心竞争力贡献“昀控"力量。