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Epc微压力控制器/电子压力控制器采用的控制算法与高灵敏度传感器,实现快速、稳定的压力设定与控制。具备优异的重复精度与长期稳定性,适用于对压力控制有苛刻要求的工艺场景,如半导体薄膜沉积、气体混合配比、阀门校准等。
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